Conception De Filtres Optiques Par Un Algorithme De Recuit Simul

Conception de filtres optiques par un algorithme de recuit simulé

LES COMPOSANTS OPTIQUES MODERNES NECESSITENT DES TRAITEMENTS DE SURFACE SOPHISTIQUES AVEC DES SPECIFICATIONS EXIGEANTES. C'EST POURQUOI LA CONCEPTION D'EMPILEMENTS DE COUCHES MINCES DONT LA REPONSE OPTIQUE EST DEFINIE PAR LE CLIENT (GABARIT SPECTRAL) EST UNE ACTIVITE CLE DE L'INDUSTRIE DU TRAITEMENT DE SURFACES OPTIQUES. CE TRAVAIL DE THESE A PERMIS DE DEVELOPPER, EN COLLABORATION AVEC DES INFORMATICIENS, UN LOGICIEL DE SYNTHESE DE FILTRES OPTIQUES UTILISANT UN ALGORITHME DE RECUIT SIMULE. UNE ETUDE SUR LA ROBUSTESSE DE REALISATION DES FILTRES A EGALEMENT ETE MENEE ET ONT ETE PROPOSES PLUSIEURS CRITERES NORMALISES PERMETTANT LA COMPARAISON DES FILTRES ENTRE EUX. CE TRAVAIL A ENSUITE ETE APPLIQUE A LA CONCEPTION, LA REALISATION ET LA CARACTERISATION DE FILTRES SEPARATEURS SPECTRAUX A FORT TAUX DE REJECTION DANS LE CADRE D'UN PROJET SOUTENU PAR LE CNES. POUR CELA, LE COUPLE DE MATERIAUX SIO#2 ET TIO#2 REALISES PAR PULVERISATION PAR FAISCEAUX D'IONS A ETE CHOISI. PLUSIEURS TECHNIQUES ONT ETE UTILISEES POUR LA CARACTERISATION DES MATERIAUX ET DES EMPILEMENTS : SPECTROPHOTOMETRIE, PHOTOGONIOMETRIE, ELLIPSOMETRIE, PHOTODEFLEXION THERMIQUE ET REFLECTIVITE DE RAYONS X. GRACE A CES DERNIERES ET A NOTRE LOGICIEL DE SYNTHESE PAR RECUIT SIMULE ; UNE DEMARCHE PERMETTANT DE CONNAITRE LES PARAMETRES CONSTITUTIFS DE CHACUNE DES COUCHES DES EMPILEMENTS REALISES A ETE MISE EN PLACE. LES INFORMATIONS AINSI OBTENUES ONT PERMIS LA REALISATION DE FILTRES SEPARATEURS SPECTRAUX DONT LES CARACTERISTIQUES SONT PROCHES DES SPECIFICATIONS REQUISES.

Optical Engineering

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